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IWAKI易威/气动低脉动波纹管泵 FLP 系列

如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称: IWAKI易威/气动低脉动波纹管泵 FLP 系列
产品型号: FLP-60W
产品厂商: 岩濑商事
产品文档: 无相关文档

简单介绍

IWAKI易威/气动低脉动波纹管泵 FLP 系列,无需阻尼器即可实现低脉动,降低总体成本, 适用于单晶圆工艺的负载追随性优异,可实现稳定运行。


IWAKI易威/气动低脉动波纹管泵 FLP 系列  的详细介绍

IWAKI易威/气动低脉动波纹管泵 FLP 系列        产品特点:

●低脉动

●可减少空气消耗

相位控制提高了负载波动期间的跟随性

无需阻尼器可节省空间


IWAKI易威/气动低脉动波纹管泵 FLP-60W       产品特参数:

*大排放量 50L/min(供气压力0.2MPa、淡水25℃)
工作液温度 5~100℃ 101~150℃ 151~180℃
*大供气压力 0.5MPa 0.4兆帕 0.3MPa
*大耗气量 464NL/分钟
*大行程数 160次/分钟
主要成分 聚四氟乙烯、聚四氟乙烯
*大转移液粘度 50毫帕·秒
连接管径 ?25mm × ?22mm(PFA管)

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