NOK KLUBER/NOK克鲁勃 真空及半导体设备用氟润滑脂
評価項目 | 単位 | 条件 | BARRIERTA IMI/V |
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基油 | - | - | フッ素油 |
蒸気圧 | Pa | 20℃ | 9.00E-10 |
外観 | - | - | 白色 |
温度下限 | ℃ | - | -45 |
温度上限 | ℃ | - | 220 |
増ちょう剤 | - | - | PTFE |
ちょう度 | - | 60W, 25℃ | 2号 |
dmn値 | x10000 | - | 40 |
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